【白光干涉儀系統(tǒng)構(gòu)成】

    ☆光學(xué)照明系統(tǒng)采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm

    ☆光學(xué)成像系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成

    ☆垂直掃描系統(tǒng)采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動顯微物鏡垂直移動、移動范圍100-1000μm、位置移動精度0.1nm

    ☆信號處理系統(tǒng)計算機和數(shù)字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析

【白光干涉儀工作原理】

    白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。