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美國SVT RF/射頻等離子源產品簡介： 美國SVT公司的RF等離子源適用于多個公司多種型號。 法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。 等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產生高能離子。 產生的束流含有零離子，有助于生長高質量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。